ساخت تیپ میکروسکوپ نیروی اتمی(AFM TIP)
تیپ میکروسکوپ نیروی اتمی یک افزاره میکرو-نانومتری است که با استفاده از پروسه MEMS/NEMS ساخته میشود. در حال حاضر، شمار قابلتوجهی از آزمایشگاههای مراکز دانشگاهی و تحقیقاتی کشور به میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) مجهز شدهاند. آنالیز AFM یک آنالیز بسیار قوی و دارای مدهای متنوع و کاربردی است، اما به دلیل گران بودن تیپ آن، این آنالیز مورداستفاده گسترده محققان قرار نگرفته است و مراکز نیز به همین دلیل یا از ارائه خدمات به بیرون خودداری کرده و یا بهصورت کاملاً محتاطانه و با تعداد کم به سرویسدهی میپردازند. با ایجاد فضا برای ساختهشدن تیپ AFM در کشور و شکسته شدن قیمت جهانی آن، این آنالیز میتواند بهصورت گسترده مورد استفاده محققان و پژوهشگران کشور قرار گیرد.
در این راستا، تیم فنی مرکز توسعه نانوالکترونیک ایران (INEC) در اولین گام با بررسی نمونه های خارجی، امکان سنجی بازار و بررسی پتانسیل های داخلی، طراحی و ساخت این افزاره به گونه ای مقیاس پذیر، تکرارپذیر و با ویژگی های فنی مد نظر را به مسابقه گذاشته و پس از طی فرآیند داوری از میان بیش از 30 طرح دریافتی، این افزاره توسط محققان آزمایشگاه نانوالکترونیک دانشکده برق دانشگاه تهران ساخته و پس از طی مراحل بازرسی موفق به کسب گواهینامه نانومقیاس ستاد نانو گردید.
با کمک زیرساختهای Fabrication موجود در INEC از قبیل انواع سامانه های لایه نشانی، لیتوگرافی و زدایش، ساخت این محصول به صورت کامل در کشور انجام شده و فناوری ساخت افزاره های MEMS/NEMS در کشور بومی سازی شده است.
در ادامه راه توسعه این محصول نیز پس از طی کردن مراحل تجاریسازی با کمک ستاد توسعه فناوری نانو، تأمین تیپ برای دستگاههای داخلی و خارجی موجود در کشور با قیمتی مناسب نسبت به نمونههای خارجی موجود در بازار و همچنین امکان فروش آن در بازارهای جهانی با توجه به تعداد کم رقبا، مد نظر تیم تجاری سازی INEC خواهد بود.
در ادامه، تصاویر نمونه محصول ساخته شده توسط فناوران ایرانی به نمایش درآمده است.