وضعیت تجهیز : در حال خدمت رسانیشرح خدمت:
سیستم اسپاترینگ از نوع رادیویی یکی از متدوالترین سامانه های لایه نشانی در FAB می باشد. در حقیقت در این سامانه از فرآیند انتقال اندازه حرکت ذرات فرودی (معمولاً یون های گازهای خنثی) به سطح یک هدف (target) استفاده شده و منجر به کنده شدن دسته هایی از اتمهای مورد نظر و نشستن برروی نمونه می گردد. از آنجاییکه سامانه اسپاترینگ کاربردهای زیادی در لایه نشانی مواد سرامیکی و دیر گداز دارد، در FAB موارد استفاده فراوانی خواهد داشت. از آن میان به لایه نشانی فلزاتی مانند کروم، پلاتین، نیکل و موادی مانند اکسیدهای فلزی همانند اکسید قلع و غیره اشاره نمود. حتی لایه نشانی ترکیبات خاصی مانند ابررساناها (YBCO) نیز توسط سامانه اسپاترینگ محقق می گردد.
مشخصات دستگاه:
تغذیه دستگاه: منبع تغذیه RF 600W در فرکانس کاری 13.56MHz
میزان خلا: میکروتور
نوع شاتر: شاتر کاتد
چرخش نمونه: دستی و اتوماتیک
لیست فایل ها
لیست خدمات
-
لایه نشانی Cr, Si, SiO2, Ni, Cu, Ge, Au, ITO, Ti, Al2O3, Zn, ZnO2 ضخامت 3 تا 200 نانومتر
واحد هر ران هزینه سرویس : ۲,۵۰۰,۰۰۰ ریال -
لایه نشانی Cr, Si, SiO2, Ni, Cu, Ge, Au, ITO, Ti, Al2O3, Zn, ZnO2 ضخامت 200 تا 400 نانومتر
واحد هر ران هزینه سرویس : ۳,۵۰۰,۰۰۰ ریال -
لایه نشانی Cr, Si, SiO2, Ni, Cu, Ge, Au, ITO, Ti, Al2O3, Zn, ZnO2 ضخامت 400 تا 600 نانومتر
واحد هر ران هزینه سرویس : ۷,۰۰۰,۰۰۰ ریال -
لایه نشانی Cr, Si, SiO2, Ni, Cu, Ge, Au, ITO, Ti, Al2O3, Zn, ZnO2 ضخامت 600 تا 1000 نانومتر
واحد هر ران هزینه سرویس : ۱۱,۰۰۰,۰۰۰ ریال