لایه نشانی با دستگاه باریکه الکترونی

شرح خدمت:

این سامانه از دستگاههای بسیار مهم و با ارزش در هر مجموعه ساخت نیمه هادی می باشد. دراین سامانه فلزات توسط اشعه الکترونی و یا توسط المنت های حرارتی داغ شده و به نقطه تبخیر می رسند. با توجه به وضعیت خلا در محفظه مربوطه (خلا از مرتبه میکروتور) لایه نشانی بصورت پویش آزاد و خط دید (Line of Sight) انجام خواهد شد و از آن می توان علاوه بر پوشش دهی سطوح بعنوان ابزاری برای لایه نشانی های خاص مانند چند طبقه ای نیز استفاده کرد.

در این سامانه یک منبع اشعه الکترونی و دو منبع حرارتی تعبیه شده که امکان لایه نشانی همزمان چند ماده را محقق می کند و از یک ضخامت سنج کوارتزی برای اندازه گیری ضخامت لایه استفاده می شود. سیستم توسط کامپیوتر برنامه ریزی شده و در ضمن کار توسط کاربر ملاحظه می گردد.

مشخصات دستگاه:

ولتاژ گان: تا 6 کیلوولت

تعداد تارگت: 3 عدد

ضخامت سنجی: کریستال کوارتز

میزان خلا: میکروتور

گان الکترونی: 1 عدد