لایه برداری تر لایه های فلزی الگودهی شده

شرح خدمت:

پس از فرآیند لیتوگرافی، ظهور و پس پخت بسته به لایه فلزی که بر روی نمونه قرار گرفته نیاز به لایه برداری از مناطقی که به وسیله رزیست محافظت نشده اند وجود دارد. این کار بوسیله زداینده های شیمیایی انجام شده که به لایه برداری تر موسوم است. اچنت های فلزات مختلف از قبیل طلا، تیتانیوم، نیکل، کروم، مس و... در محیطی ایزوله به نام میز کار خیس برای این منظور مورد استفاده قرار می گیرند. استفاده از همزن، هات پلیت و شستشوی سریع پس از لایه برداری از امکانات این میز است. 

فرآیندهایی همچون ظاهرکردن نقاب مورد استفاده در مرحله‌ی لیتوگرافی (از اصلی‌ترین پروسه های فناوری نانوالکترونیک)، زدایش لایه‌های درگیر در فرآیند ساخت (با ضخامت‌های نانومتری و یا میکرومتری) با استفاده از زداینده‌های شیمیایی (اسیدی و بازی) و .... با استفاده از این میز انجام می­ شود.