پیش پخت و پس پخت با اون حرارتی

تجهیزات لیتوگرافی
وضعیت تجهیز : در حال خدمت رسانی

شرح خدمت:

پس از پوشش دهی فتورزیست بر روی نمونه نیاز به یک مرحله پیش پخت (Prebake) برای خارج شدن حلال ها در دمای حدود 70-80 درجه سانتی گراد است. پس از لیتوگرافی و ظهور الگو نیز نیاز به مرحله ای به نام پس پخت (Postbake) است که استحکام کافی لایه رزیست در برابر زداینده های شیمیایی به کار گرفته شده در مراحل بعدی فرآوری نمونه را تضمین می نماید. این مرحله معمولا در دمای 110-120 درجه سانتی گراد انجام می شود. اون حرارتی با دقت دمایی 1 درجه سانتی گراد برای بکارگیری در فرآیند مورد استفاده قرار می گیرد.

در ضمن خشک کردن نمونه های پودری نیز در این دستگاه انجام خواهد شد.

 

مشخصات دستگاه:

حجم محفظه: 150 لیتر

بیشینه دمای کاری: 200 درجه سانتیگراد

جنس بدنه داخلی: استیل

کنترل دما: PID

دقت دمایی: 1 درجه سانتیگراد

روش گرمایش: المنتی

لیست فایل ها

لیست خدمات

  • 30 دقیقه در دمای 80 درجه

    واحد هر ران هزینه سرویس : ۲۵۰,۰۰۰ ریال
  • 15 دقیقه در دمای 120 درجه

    واحد هر ران هزینه سرویس : ۱۲۵,۰۰۰ ریال