لیتوگرافی با دستگاه Mask Aligner

تجهیزات لیتوگرافی
وضعیت تجهیز : در حال خدمت رسانی

شرح خدمت:

 

بی شک دستگاه لیتوگرافی و ماسک الاینر یکی از مهمترین تجهیزات FAB های نانوالکترونیک می باشد. از این دستگاه برای ایجاد الگوی ماسک بر روی نمونه استفاده می شود. برای الاین کردن ماسک مورد استفاده با اگوی ایجاد شده توسط ماسک قبلی نیز نیاز به استفاده از این دستگاه می باشد.

سیستم موتورایز و دقیق مکانیکی برای جابجایی نمونه و ماسک نسبت به یکدیگر و منبع نور UV با یکنواختی بالا سبب می شود تا فرآیند لیتوگرافی و الاین کردن الگوها نسبت به یکدیگر با دقت بالایی انجام شده و Feature size های پایین تری قابل حصول باشد.

 

 

 

مشخصات دستگاه:

نگهدارنده نمونه: سیستم خلا

نگهدارنده ماسک: سیستم خلا

منبع نور: 465 نانومتر 

Feature Size: یک میکرومتر

جابجایی میکرونی در جهت XYZ

اسکن نمونه به صورت motorized 

دارای میز اپتیکی

لیست خدمات

  • ناحیه فعال 10 سانتیمتر با feature size بیش از 10 میکرون به همراه زدایش

    واحد هر لایه هزینه سرویس : ۱,۰۰۰,۰۰۰ ریال
  • ناحیه فعال 10 سانتیمتر با feature size بازه 4-10 میکرون به همراه زدایش

    واحد هر لایه هزینه سرویس : ۱,۵۰۰,۰۰۰ ریال
  • ناحیه فعال 10 سانتیمتر با feature size بازه 1-4 میکرون به همراه زدایش

    واحد هر لایه هزینه سرویس : ۳,۰۰۰,۰۰۰ ریال
  • الاین کردن ماسک ها با ناحیه فعال 5 سانتیمتر با feature size بیش از 2 میکرون،

    واحد هر لایه هزینه سرویس : ۱,۰۰۰,۰۰۰ ریال