آلایش با استفاده از دستگاه کوره نفوذ

تجهیزات رشد
وضعیت تجهیز : در حال خدمت رسانی

شرح خدمت:

یکی از پروسه های مهم و اجتناب ناپذیر در فرآیند ساخت، دیفیوژن یا نفوذ می باشد. این عمل بر پایه قرار دادن یک نمونه (سیلیکان در بسیاری از موارد) در یک کوره از جنس کوارتز، بالا بردن دما تا 850 درجه سانتیگراد و در محیط گازی حاوی اتمهای فسفر یا بور است که طی آن مناطق لیتوگرافی شده با نفوذ فسفر به سیلیکان n-type و با نفوذ بور به سیلیکان p-type تبدیل می شوند.

کوره دمای بالا برای ایجاد دوپینگ در نواحی سورس و درین ترانزیستورهای اثر میدان کاربرد دارد. بیشینه دمای کوره 1200 درجه و دوپنت های بکار رفته فسفر و بور هستند. کنترل دقیق گازها با استفاده از کنترل کننده دقیق فلوی گازها انجام پذیرفته و پروسه توسعه یافته برای دستگاه برای ایجاد نواحی دوپ شده یکنواخت از امتیازات آن به شمار می رود. امکان دوپ بور و فسفر با درصد آلایش متفاوت (از 1015 تا 1019) و با تکرارپذیری بالا از دیگر ویژگی های این دستگاه به شمار می رود. دقت دمایی دستگاه 1 درجه سانتی گراد می باشد.

 

 

مشخصات دستگاه:

بیشینه دمای کاری: 1200 درجه سانتیگراد

اتمسفر: گاز خنثی، POCl3، BBr3

زون حرارتی: 3 عدد

دقت دمایی: 1 درجه سانتی گراد

مکانیزم کنترل فلو: MFC

سایز ویفر: 2 اینچ

لیست فایل ها

لیست خدمات

  • آلایش با استفاده از بور

    واحد هر ران هزینه سرویس : ۱,۵۰۰,۰۰۰ ریال
  • آلایش با استفاده از فسفر

    واحد هر ران هزینه سرویس : ۱,۵۰۰,۰۰۰ ریال