شرح خدمت:
ویفرهای سیلیکون با هر جهت کریستالی برای زدایش از آلودگیهای فلزی و آلی توسط محلول استاندارد Piranha که مخلوطی از H2SO4 و H2O2 به نسبت 1:3 است شستشو می شوند.
ویفرهای سیلیکون با هر جهت کریستالی برای زدایش از آلودگیهای یونی و آلی و فلزی توسط محلول استاندارد RCA که مخلوطی از NH3 و H2O2 و DI H2O به نسبت 5:1:1 است شستشو می شوند.