شستشوی نمونه

شرح خدمت:

ویفرهای سیلیکون با هر جهت کریستالی برای زدایش از آلودگی­های فلزی و آلی توسط محلول استاندارد Piranha که مخلوطی از H₂SO₄ و H₂O₂ به نسبت 1:3 است شستشو می شوند.

ویفرهای سیلیکون با هر جهت کریستالی برای زدایش از آلودگی­های یونی و آلی و فلزی توسط محلول استاندارد RCA که مخلوطی از NH₃ و H₂O₂ و  DI H₂O به نسبت 5:1:1 است شستشو می شوند.