شرح خدمت:
زدایش تر یکی از انواع روش ها برای زدایش همسانگرد سیلیکون است. در این روش با استفاده از محلول KOH با مولاریته مشخص و در دمای مشخص فرآیند زدایش سیلیکون آغاز شده و با نرخ مشخصی پیش می رود. هر گونه آلودگی، تغییرات دمایی و عدم یکنواختی در سامانه زدایش تر موجب ایجاد اختلال در فرآیند زدایش شده و الگوی مورد نظر بدست نخواهد آمد. طراحی سامانه زدایش تر برای حفظ یکپارچگی شرایط زدایش از اهمیت ویژه ای برخوردار است.