لایه برداری تر ویفر سیلیکونی با ست آپ KOH

تجهیزات لایه برداری
وضعیت تجهیز : در حال خدمت رسانی

شرح خدمت:

زدایش تر یکی از انواع روش ها برای زدایش همسانگرد سیلیکون است. در این روش با استفاده از محلول KOH با مولاریته مشخص و در دمای مشخص فرآیند زدایش سیلیکون آغاز شده و با نرخ مشخصی پیش می رود. هر گونه آلودگی، تغییرات دمایی و عدم یکنواختی در سامانه زدایش تر موجب ایجاد اختلال در فرآیند زدایش شده و الگوی مورد نظر بدست نخواهد آمد. طراحی سامانه زدایش تر برای حفظ یکپارچگی شرایط زدایش از اهمیت ویژه ای برخوردار است.

لیست فایل ها

لیست خدمات

  • زدایش سیلیکون <100> و <111>

    واحد هر ران هزینه سرویس : ۲,۰۰۰,۰۰۰ ریال