رشد عمودی نانولوله های کربنی با دستگاه DC-PECVD

شرح خدمت:

این دستگاه برای لایه نشانی فاز بخار به صورت شیمیایی و با استفاده از تغذیه DC طراحی شده است. پروسه کاری این دستگاه توسط محققان مرکز توسعه یافته و قابلیت های بالایی در زمینه ساخت ادوات کربنی ارائه می دهد. سیستم دارای منبع تغذیه ولتاژ بالا برای تولید پلاسما، پمپ های خلا مکانیکی برای ایجاد فشار پایین، کوره های کوارتز برای دمای بالا و کنترل اتوماتیک بر روی متغیرهای فشار، فلو، دما و ولتاژ می باشد.

با استفاده از این دستگاه به کمک پلاسما و کنترل فلوی گازها (و با در اختیار داشتن پروسه طراحی شده) نانو لوله های کربنی کاملا عمودی، گرافن و .... رشد داده می شوند. گازهای ورودی دستگاه استیلن، هیدروژن و متان بوده، بیشینه دمای کاری دستگاه 600 درجه، کمینه فشار 0.001 تور و بیشینه ولتاژ 1000 ولت می باشد. دقت دمایی دستگاه 1 درجه سانتی گراد است. با استفاده این دستگاه ساخت انواع سنسورهای رطوبت، فشار و بیوسنسورهای مبتنی بر نانولوله های کربنی امکان پذیر است.

مشخصات دستگاه:

بیشینه دمای کاری: 600 درجه سانتیگراد

میزان خلا: میلی تور

بیشینه ولتاژ تغذیه: 1000 ولت

دقت دمایی: 1 درجه سانتیگراد

کنترل: کنترل دما، فشار، ولتاژ، جریان، فلو (MFC)

گازهای مورد استفاده: استیلن، هیدروژن، متان