لیست تجهیزات

آماده سازی نمونه

برش نمونه با دستگاه Dicer

برش نمونه با دستگاه لیزر

شستشوی نمونه

انیلینگ لایه ها با دستگاه کوره حرارتی

باندینگ با سیم طلا با دستگاه وایرباندر

پرس Coin Cell باتری با دستگاه پرس مخصوص داخل گلاوباکس

تجهیزات لایه نشانی

لایه نشانی با دستگاه باریکه الکترونی

لایه نشانی با دستگاه اسپاترینگ

لایه نشانی با دستگاه تبخیر در خلا

لایه نشانی با دستگاه RF-PECVD

لایه نشانی با دستگاه LPCVD

تجهیزات لیتوگرافی

پوشش دهی چرخشی

طراحی ماسک

ساخت ماسک با دستگاه Mask writer

لیتوگرافی با دستگاه Mask Aligner

پیش پخت و پس پخت با اون حرارتی

تجهیزات لایه برداری

لایه برداری خشک با دستگاه DRIE

لایه برداری تر ویفر سیلیکونی با ست آپ KOH

لایه برداری تر لایه های فلزی الگودهی شده

تجهیزات رشد

رشد اکسید سیلیکون با دستگاه کوره حرارتی

رشد نانوساختارهای سیلیکانی با دستگاه LPCVD

رشد عمودی نانولوله های کربنی با دستگاه DC-PECVD

آلایش با استفاده از دستگاه کوره نفوذ

تجهیزات تصویربرداری میکروسکوپی

تصویربرداری با دستگاه FESEM به همراه آنالیز EDX

تصویربرداری با دستگاه TEM

تصویربرداری با دستگاه AFM

تصویربرداری با دستگاه میکروسکوپ اپتیکی 1600 برابر

تجهیزات مشخصه یابی

مشخصه یابی I-V

مشخصه یابی C-V

مشخصه یابی Four Point Probe

مشخصه یابی ضخامت با دستگاه Dektak

مشخصه یابی با دستگاه پتانشیواستات، گالوانواستات

مشخصه یابی باتری

تجهیزات آنالیز

آنالیز رامان اسپکتروسکوپی